超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用

超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥贙，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。  活性炭按材料可分為螺母殼活性炭、木活性炭和煤活性炭。活性炭產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于高純水設(shè)備,純凈水,因?yàn)橐话愕某Ｓ脙λ逓榱司S持內(nèi)部與外部的壓力平衡，當(dāng)罐內(nèi)水量減少的時(shí)候，除非使罐子被不斷的壓縮，不然罐內(nèi)就會有空氣填入其中，維持外部與內(nèi)部的平衡，顯然在超純水的生產(chǎn)過程中，使空氣進(jìn)入是非常不理智的行為。常見的大氣中富含各種污染物質(zhì)，這類污染物質(zhì)雖然對人體的影響并不是很大，但是在高精度儀器面前，它們會時(shí)刻影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，讓數(shù)據(jù)出現(xiàn)不同程度的改變，特別是在電子級實(shí)驗(yàn)面前，微生物或者離子的影響都會使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)失效，所以采用氮封裝置能很好的保證儲水桶內(nèi)的水質(zhì)穩(wěn)定。



空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實(shí)踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ·m，3分鐘以后就會下降到2MΩ·m左右，因此超純水的儲存容器需確保水體不與空氣的接觸。

氮封閥由供氮裝置供氮閥和泄氮裝置泄氮閥兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O.通過氮封裝置控制。

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用 產(chǎn)品特點(diǎn)

無需外加能源，能在無電、無氣的場合工作，既方便，又節(jié)約能源，降低成本；
氮封閥壓力設(shè)定方便，可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行；
壓力檢測膜片有效面積大，設(shè)定彈簧剛度小，動作靈敏，裝置工作平穩(wěn)；
采用無填料設(shè)計(jì)，閥桿所受摩擦力小，反應(yīng)迅速，控制精度高；
供氮裝置采用指揮器操作，減壓比可達(dá)100:1,減壓效果好，控制精度高；
為確保儲罐的，需在罐頂設(shè)置呼吸閥；
呼吸閥僅起作用，避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。

超純水設(shè)備氮封水箱的工作原理：


超純水設(shè)備的氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。




廣東漢洛環(huán)保科技有限公司系統(tǒng)主要采用預(yù)處理+反滲透+電去離子（EDI）+拋光混床超純水處理技術(shù)，前置預(yù)處理加反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質(zhì)，然后運(yùn)用CEDI及拋光混床系統(tǒng)，進(jìn)一步提升水質(zhì)，使出水達(dá)到用水工藝要求。電子行業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)中需要用到的水是超純水，比如單/多晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、 液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、電池（蓄電池）、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器、潔凈產(chǎn)品及各種元器件等，電子行業(yè)生產(chǎn)工藝用純水基本是1-18Ω﹒cm范圍的水。

序號	品  名	型 號 及 規(guī) 格	單位	數(shù)量	單　價(jià) （元）	金 額 （元）	閥體材質(zhì)及其它
1	氮封閥	氮封閥ZZYVP-II DN25 PN16 進(jìn)口壓力 0.3-0.8 MPA, 出口壓力1 KPA	臺	2			WCB
2	泄壓閥	泄壓閥ZXD-10   DN25    PN16 起跳壓力2KPA	臺	2			WCB
3	呼吸閥	呼吸閥ZFQ  DN50 PN10 正壓：3KPA 負(fù)壓：-298PA	臺	2			WCB

壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。

微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如：3Kpa。

泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如：8Kpa。

具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來確定選擇。

氮?dú)?(N2)的純度為99.999％以上。



超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用主要技術(shù)參數(shù)

公稱通徑(mm)	20			25	40		50	80		100	150
閥座直徑(mm)	6	15	20	25	32	40	50	65	80	100	125	150
額定流量系數(shù)Kv	3.2	5	8	10	20	32	50	80	100	160	250	400
壓力調(diào)節(jié)范圍	0.5～70 20～120 60～400 300～700 500～1000 KPa
公稱壓力PN	1.0、1.6 MPa
被調(diào)介質(zhì)溫度	80、200 ℃
流量特性	快開型
調(diào)節(jié)精度	≤5%
允許壓降(MPa)	1.6				1.6		1.1	0.6		0.4
薄膜有效面積(C㎡)	200				280			400
允許泄漏量	符合ANSIB16.104—1976 IV級
閥蓋形式	標(biāo)準(zhǔn)型 (整體式)
壓蓋型式	螺栓壓緊式
密封填料	V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料
閥芯形式	單座型閥芯
流量特性	直線性

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用處理超純水與空氣接觸的方法：

充氮法：即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。

薄膜袋法：即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。    

浮頂法：即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會。

在上述三種方法中又以氮封水箱常見，實(shí)施簡單，效果好。



1 超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用工藝特點(diǎn)

在儲罐上設(shè)置氮封系統(tǒng)，維持罐內(nèi)氣相空間壓力在2.5KPa左右，當(dāng)氣相空間壓力高于2.5KPa時(shí)，氮封閥關(guān)閉，停止氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)氣相空間壓力低于2.5KPa時(shí)，氮封閥開啟，開始補(bǔ)充氮?dú)猓ＷC儲罐在正常運(yùn)行過程中不吸進(jìn)空氣，防止空氣中的塵埃、CO2等污染物進(jìn)入DI水中形成二次污染。

1）在每臺儲罐上設(shè)置先導(dǎo)式氮封閥組和溢流水封箱，正常情況下使用氮封閥組維持罐內(nèi)氣相空間壓力在2.5KPa左右，當(dāng)氣相空間壓力高于2.5KPa時(shí)，氮封閥關(guān)閉，停止氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)氣相空間壓力低于2.5KPa時(shí)，氮封閥開啟，開始補(bǔ)充氮?dú)狻?/p>

2）當(dāng)?shù)忾y需要檢修或故障時(shí)：

在負(fù)壓低于-0.85Kpa時(shí)，溢流管水封箱從防負(fù)壓口吸入空氣，防止負(fù)壓過高導(dǎo)致水箱吸扁；在壓力高于3KPa時(shí)，通過溢流管水封箱的溢出口外排多余的氮?dú)?，防止水箱膨脹破裂，以防止事故擴(kuò)大。

3）當(dāng)DI水箱液位器需要檢修或故障時(shí)：

如DI水箱的液位器出現(xiàn)異常時(shí)，水箱滿水通過溢流管水封箱的溢出口外排多余的水，防止水箱膨脹破裂，以防止事故擴(kuò)大。



2 超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用安裝布置

1）氮封閥、調(diào)壓閥及壓力表的安裝位置宜安裝于標(biāo)高1.0m左右，便于日常維護(hù)。氣體流量計(jì)的安裝位置宜安裝于標(biāo)高1.5m左右，便于日常觀察。

2）罐頂?shù)獨(dú)饨涌诘拈_口方位宜位于罐頂中心部位，氮?dú)夤艿涝诘忾y之前采用SS304潔凈管，之后采用UPVC潔凈管。

3）溢流管水封箱就地安裝，其相應(yīng)的底部溢出口接管盡可能的排至室外或通風(fēng)的地方，防止室內(nèi)氮?dú)鉂舛冗^高。



超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用

氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O，通過氮封裝置控制。當(dāng)水箱上游水泵開啟，向超純水水箱補(bǔ)水時(shí)，水箱水位上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時(shí)，泄氮裝置打開，向外界釋放氮?dú)?，使罐?nèi)壓力下降，當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，泄氮裝置自動關(guān)閉。當(dāng)水箱后級水泵開啟，用戶端開始用水時(shí)，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)壓力降低，供氮裝置開啟，向儲罐注入氮?dú)?，使罐?nèi)壓力上升，當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動關(guān)閉。