電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應(yīng)用
超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。 氮封閥由泄氮閥及供氮閥兩大部分組成,當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),泄氮閥迅速開(kāi)啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。供氮閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開(kāi)啟閥門(mén),向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應(yīng)用超純水的工藝
采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
氮封水箱一般應(yīng)用在超純水系統(tǒng)中,一般用在混床或EDI電去離子設(shè)備后的需要設(shè)置緩沖水箱時(shí),此時(shí)往往會(huì)優(yōu)先考慮采用氮封水箱來(lái)作為緩沖罐,氮?dú)庖蠹兌葹?9%。超純水在空氣中如何被污染:,空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會(huì)使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右。因此必須要減少超純水與空氣接觸的機(jī)會(huì)。
序號(hào) | 品 名 | 型 號(hào) 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 | 單 價(jià) (元) | 金 額 (元) | 閥體材質(zhì)及 其它 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN15 PN16 進(jìn)口壓力 0.3-0.6 MPA,出口壓力1 KPA | 臺(tái) | 1 |
| 304不銹鋼 | |
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥CFQ DN25 PN16正壓3KPA 負(fù)壓:-298PA | 臺(tái) | 1 | 304不銹鋼 |
防止超純水容器被空氣污染的常見(jiàn)方法:
☆充氮法:即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。
☆薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。
☆浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。在上述三種方法中又以氮封水箱最常見(jiàn)。
電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應(yīng)用的組成:
氮封水箱是由三部分組成:
☆氮?dú)庠矗和ǔ?梢赃x用潔凈高壓氮?dú)馄?、制氮機(jī)、工廠現(xiàn)有潔凈壓縮氮?dú)?#8230;…
☆密閉水箱:超純水水箱一定要全密封,一方面防止氮?dú)馔庑?,另外防止空氣進(jìn)入水箱污染超純水。
☆控制系統(tǒng):氮封閥裝置
超純水處理設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水。
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間用超純水。
4、汽車(chē)、家電表面拋光處理。
5、光電子產(chǎn)品。
6、其他高科技精微產(chǎn)品。
電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應(yīng)用超純水設(shè)備的特點(diǎn):
1: 零部件均采用進(jìn)口產(chǎn)品 , 質(zhì)量可靠 , 整體化程度高 , 易于擴(kuò)展 ,
2:增加膜數(shù)量即可增加處理量
3: 自動(dòng)化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動(dòng)保護(hù)功能
4: 膜組件為復(fù)合膜卷制而成 , 表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過(guò)速率
5: 能耗低 , 水利用率高 , 運(yùn)行成本低
6: 結(jié)構(gòu)合理 , 占地面積少
7: 膜保護(hù)系統(tǒng) , 在設(shè)備關(guān)機(jī) , 淡化水可自動(dòng)將膜面污染物沖洗干凈 , 延長(zhǎng)膜壽命
8:系統(tǒng)無(wú)易損部件 , 無(wú)須大量維修 , 運(yùn)行長(zhǎng)期有效
9: 設(shè)備設(shè)計(jì)有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)
☆供氮閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如:1Kpa
☆泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如:3Kpa。
☆具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。
☆N2的純度為99。995%以上。
電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應(yīng)用
氮封閥也好或其他類(lèi)型的閥門(mén)也一樣,在閥門(mén)內(nèi)如果有異物勢(shì)必會(huì)影響閥門(mén)的正常運(yùn)營(yíng)和其運(yùn)行的穩(wěn)定性,所以在檢修保養(yǎng)的過(guò)程中我們需要注意,在這個(gè)步驟中需要技巧性的對(duì)閥門(mén)以及管道內(nèi)的污物、焊渣及鐵銹進(jìn)行檢查,如果有的話需要立即采用相應(yīng)的方案來(lái)進(jìn)行清除,如果管道內(nèi)經(jīng)產(chǎn)會(huì)進(jìn)異物的則需要考慮在閥門(mén)上游安裝一些過(guò)濾的裝置,對(duì)異物的清除一定要做到位,否則很可能會(huì)對(duì)閥門(mén)的密封面以及閥門(mén)的閥芯和閥座形成磨損從而對(duì)閥門(mén)的運(yùn)行穩(wěn)定造成影響。
氮封裝置由供氮閥、 泄氮閥、 呼吸閥 組成,供氮閥由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮閥由內(nèi)反饋的壓開(kāi)型微壓調(diào)節(jié)閥組成,通過(guò)氮封裝置精確控制。當(dāng)儲(chǔ)罐進(jìn)液閥開(kāi)啟,向罐內(nèi)添加物料時(shí),液面上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當(dāng)罐內(nèi)壓力升至高于泄氮閥壓力設(shè)定值時(shí),泄氮閥打開(kāi),向外界釋放氮?dú)?,使罐?nèi)壓力下降,降至泄氮閥壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),自動(dòng)關(guān)閉。當(dāng)儲(chǔ)罐出液閥開(kāi)啟,用戶放料時(shí),液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)壓力降低,供氮閥開(kāi)啟,向儲(chǔ)罐內(nèi)注入氮?dú)?,使罐?nèi)壓力上升,升至供氮閥壓力設(shè)定點(diǎn),自動(dòng)關(guān)閉。